更新時間:2021-08-28
不銹鋼精密氣體減壓器Sα-1H精密氣體減壓器。單級膜片式設(shè)計;中等壓力輸入,低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于標(biāo)準(zhǔn)氣體、高純氣體、低濃度(≤1%)腐蝕性氣體等(可用于小流量液體)。標(biāo)準(zhǔn)流量60L/min。
免費(fèi)咨詢:86-021-59966206
不銹鋼精密氣體減壓器Pα-1H精密氣體減壓器。單級膜片式設(shè)計;中等壓力輸入,低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于半導(dǎo)體高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。標(biāo)準(zhǔn)流量60L/min。
工作條件:
進(jìn)口壓力 | 15MPa |
出口壓力 | 0~0.99MPa |
CV值 | 0.02 |
爆破壓力 | 35MPa |
原壓變動 | 0.00021MPa (入口壓力變化0.1MPa時,出口壓力的變化量) |
溫度 | -10~+70℃ |
外漏率 | ≤1×10-9Pa.M3/Sec.He |
安裝方式 | 前面板安裝,后面板安裝 |
不銹鋼精密氣體減壓器產(chǎn)品特點(diǎn):
柔性膜片結(jié)構(gòu),手柄特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計,調(diào)節(jié)順暢,輸出壓力精密到0.001MPa.流量損失小
單級式減壓,死體積小,便于吹掃
進(jìn)口出口可以加裝其他附件
主要部件電解拋光處理,增加腐蝕性
內(nèi)置精密過濾器,保證氣體潔凈
超純水清洗
主要部件材料:
零部件名稱 | Part | 材料(Materials) |
后蓋 | Bonnet | SUS316 |
閥體 | Body | SUS316L |
閥針 | Poppet | SUS316L |
膜片 | Diaphragm | SUS316L |
密封墊 | Seat | PTFE、PCTFE或PEEK |